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廣州卓平實驗室 > 行業知識 > 潔凈室等級標準規范與要求有哪些
百級潔凈室
100級潔凈室的氣流形式是層流模式。空氣以均勻的截面速度沿平行流線流動,這與流體力學的層流概念不同。具體來說,它是垂直層流側回風。與100級以上潔凈室采用的混流或混流模式(即空氣以不均勻的速度流動)相比,具有效果完整、運行快速穩定、粉塵堆積和漂浮少、管理方便等優點,但設備成本很高,維護成本也很高。
潔凈度:粒徑大于等于0.1微米的最大粒徑不能大于100個。
千級潔凈室標準
要了解千級潔凈室,首先要了解無塵的概念。按照國際慣例,無塵凈化水平主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定的。也就是說,所謂無塵不是100%沒有灰塵,而是控制在非常微量的單位上。當然,與我們常見的灰塵相比,這個標準中符合灰塵標準的顆粒很小,但對于光學結構來說,即使是一點灰塵也會產生很大的負面影響,所以無塵是光學結構產品生產中不可避免的要求。
潔凈度:
每立方米粒徑小于0.5微米的粉塵數量控制在3500以下,達到國際無塵標準A級。目前,芯片級生產加工的無塵標準對粉塵的要求高于A級,主要用于一些高級芯片生產。粉塵數量嚴格控制在每立方米1000以內,通常稱為1K級。
壓差:
對于大多數凈化無塵車間,為了防止外部污染侵入,需要保持內部壓力(靜壓)高于外部壓力(靜壓)。維持壓差一般應符合以下原則:清潔空間壓力高于非清潔空間壓力;潔凈度高的空間壓力高于相鄰潔凈度低的空間壓力;潔凈室之間的門應打開到潔凈度高的房間。
壓差的維持取決于新風量,這應該能夠補償在這種壓差下從縫隙中泄漏出來的風量。因此,壓差的物理意義是通過潔凈室各種縫隙時泄漏(或滲透)風量的阻力。
溫濕度:常規溫度22±2度,濕度55±5%。
萬級凈化車間標準
世界各國都有自己的規格,但一般按照聯邦政府頒布的標準FederalStandard(FS)209E,1992,無塵室可分為六級。它們分別是1級、10級、100級、1000級、10000級和10000級。如果無塵室的等級僅用塵粒的數量來描述,則可以假設塵粒的尺寸為0.5μm。例如,10級為0.2μm(塵粒尺寸為0.2μm或以上,密度不大于75/m3),1級為0.1μm(塵粒尺寸為0.1μm或以上,密度不大于35/m3)。
潔凈度:潔凈度1萬級cleanlinesclass1萬(P2萬級實驗室即ISO7級)即大于等于0.5μm的塵粒數大于35000粒/m3(35粒/L)至小于等于35000粒/m3(350粒/L);大于等于5μm的塵粒數大于300粒/m3(0.3粒/L)至小于等于3000粒/m3(3粒/L)。
壓差及溫濕度控制:
1)溫度:干盤管系統控制。
2)濕度:通過感知信號調節空調箱,控制三通閥開度,調節空調箱盤管進水量。
3)正壓:調節空調箱,根據靜壓感知信號自動調節空調箱電機變頻器的頻率,從而調節進入室內的新風量。
10萬級凈化車間標準。
10萬級凈化車間的潔凈度不算太高,包括一般電子、食品飲料、醫療器械、化妝品廠等。
潔凈度:
1萬(10萬)級潔凈室是指工作車間內每立方米顆粒控制在10W以內的生產車間,主要用于電子工業和制藥工業。如果食品工業有10萬級的生產車間,那就相當不錯了。1萬(10萬)級潔凈室要求每小時通風15-19次,完全通風后空氣凈化時間不超過40分鐘。
壓差:
潔凈度等級相同的潔凈室壓差保持一致,相鄰潔凈室之間的壓差應≥5Pa,潔凈室與非潔凈室之間的壓差應≥10Pa。
溫濕度:
當10萬級潔凈室對溫度和濕度沒有特殊要求時,最好穿干凈的工作服不要有舒適感。溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季24~26℃;波動±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%,夏季潔凈室濕度控制在50-70%。
照度:
潔凈室(區)主要生產用房一般照度值≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化室、氣閘室、走廊的照度值為200~300Lx。
30萬級凈化車間標準
空氣清潔度是清潔環境中空氣中懸浮顆粒數量的程度。通常,如果空氣中粉塵濃度低,空氣清潔度就會高,如果粉塵濃度高,空氣清潔度就會低。根據空氣中懸浮顆粒的濃度,將潔凈室和相關受控環境中的空氣清潔度等級劃分為每立方米空氣中最大允許顆粒的數量。
制藥廠一般有1萬級、10萬級、30萬級,其中10萬級(灌裝、內包裝)和30萬級,10萬級比30萬級嚴格得多。
潔凈度:
每立方米大于或等于0.5μm的塵粒不得超過10、5萬顆;每立方米大于或等于5μm的塵粒不得超過6萬顆;每立方米浮游菌數量不得超過1000顆。
壓差及溫濕度控制:
壓差:不同潔凈水平潔凈室(區)之間,靜壓差大于或等于5PA;潔凈室(區)與室外,靜壓差大于或等于10PA。
溫濕度:溫度-18~28℃;濕度-45~65%。
百萬凈化車間標準
在潔凈空間單位體積空氣中,以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值劃分的等級標準。
百萬級空氣潔凈度標準:
每立方米大于等于0.5μm的塵粒數量不得大于3.5萬個,每立方米大于等于1μm的塵粒數量不得大于8.3萬個,每立方米大于等于5μm的塵粒數量不得大于2.5萬個。
潔凈室等級標準的四個要求
潔凈室要達到良好的清潔效果,不僅要采取合理的空調凈化措施,還要有規范的設計,正確使用,科學的維護管理。潔凈程度和污染控制的可持續穩定性是檢驗潔凈室質量的核心標準。該標準將根據區域環境、凈化程度等因素分為幾個等級,包括國際標準和國內區域行業標準。為了滿足等級標準,潔凈室應滿足以下四個要求。
1、送風清潔度。在送風清潔度方面,要滿足要求,關鍵是凈化系統末級過濾器的性能和安裝。凈化系統末級過濾器一般采用高效過濾器或亞高效過濾器。因此,應考慮清潔度要求,以低級潔凈室為原則,選擇高性能過濾器。
然而,為了選擇一個好的過濾器,我們還應該充分考慮潔凈室的特點、過濾器的特點和凈化系統的特點。為了保證送風的清潔度,只有合格的過濾器是不夠的,但也要保證運輸。安裝過程中不損壞過濾器,確保安裝嚴密。
2、氣流組織。潔凈室的氣流組織不同于一般的空調房間要求最干凈的空氣首先送到操作部位,其作用是限制和減少對加工物的污染。因此,在設計氣流組織時應考慮以下原則。
首先,盡量減少渦流,避免將工作區以外的污染帶入工作區;其次,盡量防止灰塵二次飛揚,減少灰塵對工件的污染機會;最后,工作區的氣流應盡可能均勻,風速應滿足工藝和衛生要求。當氣流流向回風口時,應有效帶走空氣中的灰塵。根據不同的清潔要求,選擇不同的送回方式。
3、送風量或風速。足夠的通風量是稀釋和消除室內空氣污染。根據不同的潔凈度要求,當潔凈室高度較高時,可適當增加通風次數。其中,100萬級潔凈室的通風量按高效凈化系統考慮,其余按高效凈化系統考慮。當10萬級潔凈室高效過濾器集中布置在機房或系統末端使用亞高效過濾器時,通風次數可適當增加10-20%。
4、靜壓差。保持一定的正壓是保證潔凈室不受或少受污染的必要條件之一。即使是負壓潔凈室,也必須有不低于其潔凈度水平的相鄰房間或套房,以保持一定的正壓,才能保持負壓潔凈室的潔凈度。
據悉,維護潔凈室正壓所需的風量主要根據維護結構的密封性來確定。我國設計規范規定,不同級別潔凈室與潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不小于0.5mmH2O(~5Pa),潔凈區與室外的靜壓差不小于1.OmmH20(~l0Pa)。
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